應用設備:晶圓搬運機器人、晶圓傳送機、晶圓盒自動上下料系統
潔凈要求:ISO 1-5 級(百級至十級)潔凈室環境
應用優勢:
零釋氣設計避免污染光刻膠和晶圓表面
極低集塵率(<0.1%)防止芯片短路和良率下降
防靜電性能(表面電阻 10?~10?Ω)保護敏感電子元件
3000 萬次以上彎曲壽命滿足 24 小時連續生產需求
解決痛點:傳統拖鏈產生的金屬碎屑和塑料微粒曾導致芯片報廢率高達 3%,使用恒通無塵拖鏈后報廢率降至 0.5% 以下
應用設備:刻蝕機、薄膜沉積設備 (CVD/PVD/ALD)、清洗機、離子注入機
特殊要求:耐受 HF、Cl?等腐蝕性氣體,耐高溫,低析出
應用優勢:
E-PTFE 材料具有優異的化學惰性和耐腐蝕性
自承式扁平結構無需分配器,節省設備內部寶貴空間
輕量化設計降低運動負載,提高設備運行速度和精度
典型場景:在 28nm 及以下先進制程產線中,恒通無塵拖鏈用于保護刻蝕機內部的信號電纜和氣體管路,確保在等離子體環境下長期穩定運行
應用設備:探針臺、測試分選機、鍵合機、劃片機
應用優勢:
高速運動下仍保持低噪音和低振動
定位準確,提高測試精度和效率
維護周期長達 18-24 個月,減少設備停機時間
應用設備:G8.5/G10.5/G11 代線玻璃基板搬運機器人、AGV 小車
應用優勢:
多 POD 集成設計可同時容納多根電纜和氣管,減少總體占用面積
扁平結構大大降低安裝高度,適應大尺寸玻璃基板的搬運需求
無金屬粉塵產生,避免劃傷玻璃基板表面
解決痛點:傳統拖鏈的金屬碎屑曾導致玻璃基板出現劃痕,造成整批產品報廢,使用恒通無塵拖鏈后該問題得到C底解決
應用設備:OLED 真空蒸鍍機、掩膜版更換系統
特殊要求:極低 outgassing,真空環境適應性
應用優勢:
零釋氣設計保護有機發光材料不受污染
獲真空環境認證,可在高真空條件下穩定運行
耐高溫性能適應蒸鍍工藝的高溫環境
典型場景:在柔性 OLED 生產線中,恒通無塵拖鏈用于蒸鍍腔室內的精密運動機構,確保在 10??Pa 的高真空環境下連續工作
應用設備:AOI 光學檢測設備、點燈檢測設備、色彩分析儀
應用優勢:
靜音運行(<55dB)不影響精密光學檢測
高穩定性保證檢測結果的準確性和重復性
安裝便捷,易于維護和更換
應用設備:TOPCon/HJT 電池 PECVD 設備、ALD 原子層沉積設備、絲網印刷機
應用優勢:
抗酸堿性能適應光伏生產中的化學腐蝕環境
長壽命設計降低頻繁更換帶來的成本
自清潔特性減少粉塵附著,保持設備清潔
典型場景:在 HJT 異質結電池生產線中,恒通無塵拖鏈用于 PECVD 設備的電極運動系統,確保在硅片鍍膜過程中不產生任何污染
應用設備:高速串焊機、疊瓦焊接機、組件搬運機器人
應用優勢:
高負載能力可同時承載電纜、氣管和水管
抗老化性能適應光伏工廠的高溫高濕環境
可靠性高,減少生產線停機時間
應用設備:極片涂布機、卷繞機、疊片機、注液機
應用優勢:
防靜電性能防止鋰電池起火爆炸風險
耐電解液腐蝕性能適應電池生產環境
無塵設計避免雜質進入電池內部影響性能

應用設備:西林瓶 / 安瓿瓶灌裝線、口服液灌裝線、預充針灌裝線
潔凈要求:ISO 5 級(百級)無菌環境
應用優勢:
不積塵、不滋生細菌,符合 GMP 要求
可耐受酒精、過氧H氫等消毒劑的反復擦拭
密封結構防止藥液和粉塵進入拖鏈內部
解決痛點:傳統拖鏈的縫隙易積塵和滋生細菌,難以C底消毒,使用恒通無塵拖鏈后滿足了制藥行業的無菌要求
應用設備:手術機器人、CT/MRI 設備、實驗室自動化設備
應用優勢:
低噪音運行不影響醫療環境
生物相容性材料對人體無害
高可靠性確保醫療設備的安全運行
應用設備:生物反應器、離心機、凍干機進出料裝置
應用優勢:
化學惰性材料不與藥物發生反應
零釋氣設計避免污染生物制品
易于清潔和消毒,符合制藥行業的衛生標準
應用設備:精密數控機床、坐標測量機 (CMM)、3D 打印設備
應用優勢:
高定位精度保證加工和測量的準確性
低振動運行提高設備穩定性
長壽命設計降低維護成本
應用設備:航空航天零部件精密加工設備、衛星裝配線
應用優勢:
高可靠性適應航空航天行業的嚴苛要求
抗輻射性能可在特殊環境下使用
輕量化設計減輕設備整體重量
應用設備:潔凈室實驗設備、真空實驗裝置、精密分析儀器
應用優勢:
極低的顆粒釋放和釋氣性能不影響實驗結果
可定制化設計滿足各種特殊實驗需求
安裝便捷,易于集成到現有設備中
| 對比維度 | 恒通 HTWC 系列 | 進口同類產品 |
|---|---|---|
| 潔凈性能 | ISO 14644-1 百級 | 同等水平 |
| 彎曲壽命 | ≥3000 萬次 | 同等水平 |
| 交貨周期 | 7-15 天 | 45-90 天 |
| 產品價格 | 低 30%-50% | 高 |
| 定制服務 | 快速響應,可提供非標定制 | 周期長,費用高 |
| 技術支持 | 國內工程師現場服務 | 遠程支持為主 |